ICS 91.200 CCS M04
團 體(ti) 標 準
T/ESD 2004—2023
防靜電接地通用規範
Geneural specifications of ESD grounding
2023 – 6 – 25 發布 2023 – 7 – 1 實施
上海防靜電工業(ye) 協會(hui) 發 布
T/ESD 2004—2023
目 次
1 範圍 1
2 規範性引用文件 1
3 術語和定義(yi) 、縮略語 1
4 人員安全 2
5 接地係統要求 2
5.1 概述 2
5.2 防靜電接地極接地係統 2
前 言
本文件按照 GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第 1 部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定起草。
請注意本文件的某些內(nei) 容可能涉及專(zhuan) 利。本文件的發布機構不承擔識別這些專(zhuan) 利的責任。
本文件由上海防靜電工業(ye) 協會(hui) 提出並歸口。
本文件起草單位：上海騰甲防靜電科技有限公司、上海創紀科技發展有限公司、 上海晨隆靜電科技有限公司、上海電子工程設計研究院有限公司、北京東(dong) 方計量測試研究所、上海精密計量測試研究所、廣州秀珀化工塗料有限公司、上海青瑩電子科技有限公司、上海佰潔靜電檢測技術中心、廈門永平堂靜電工程有限公司、蘇州亨達洋靜電技術有限公司、深圳市中明科技股份有限公司、华体育hth、蘇州鴻博斯特超淨科技股份有限公司、蘇州華瑞塑膠電子有限公司、中山市榮業(ye) 化工原料有限公司、上海航天電子有限公司、上海啟永電子設備有限公司、上海仕原智能科技有限公司、浙江聖威裝飾科技有限公司、東(dong) 莞市高知建築裝飾材料有限公司、蘇州佳普斯信息科技有限公司、上海聞朗新材料科技有限公司、上海市計算機行業(ye) 協會(hui) 、中國電子科技集團公司第十三研究所、中國電子科技集團公司第五十五研究所、中國電子科技集團公司第十研究所。
本文件主要起草人： 張明、徐斌、任光輝、畢戈雄、黃建華、劉清平、包曉峰、程啟朝、花吉珍、李代勇、徐迎黨(dang) 、尹永紅、陳國安、陳陣、俞旭濤、王磊、李天榮、高知喻、劉衛鵬、韓科勇、夏明偉(wei) 、劉清堂、朱雪梅、裘維東(dong) 、鮑誌林。
防靜電接地通用規範
1 範圍
本文件規定了靜電敏感電子產(chan) 品在生產(chan) 、加工、存儲(chu) 、運輸和使用維護過程中為(wei) 防止靜電放電采用接地形式泄放靜電荷的聯接和要求。
本文件適用於(yu) 防靜電接地的設計、施工、安裝、檢測與(yu) 驗收、運行維護。
本文件不適用於(yu) 易燃、易爆場所的接地。
2 規範性引用文件
下列文件中的內(nei) 容通過文中的規範性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅(jin) 該日期對應的版本適用於(yu) 本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用於(yu) 本文件。
本文件沒有規範性引用文件。
3 術語和定義(yi) 、縮略語
下列術語和定義(yi) 適用於(yu) 本文件。
3.1 術語和定義(yi)
3.1.1
防靜電接地 ESD grounding
為(wei) 達到靜電放電防護目標，通過合適的材料實現與(yu) 大地可靠的連接。
3.1.2
公共接地點 common ground point
又稱接地端子，連接兩(liang) 個(ge) 或多個(ge) ESD防護物品的導體(ti) 的接地裝置或位置。
3.1.3
公共連接點 common connection point
連接兩(liang) 個(ge) 或多個(ge) ESD防護物品的導體(ti) 的裝置或位置，通過等電位連接使ESD防護物品處於(yu) 相同的電位。 3.1.4
防靜電接地極 earthing electrode for electrostatic discharge (ESD)
除保護地之外的與(yu) 大地連接起來的專(zhuan) 為(wei) 靜電防護而設的接地極。
3.1.5
等電位連接 equipotential bond
導電部件（或用於(yu) 控製靜電放電的部件）的電氣連接，使其在正常和故障條件下處於(yu) 基本相同的電位。
3.1.6
安全保護地 safety grounding device
簡稱安全地，也稱保護地。為(wei) 安全目地，連接設備或設施至大地的接地係統。
3.1.7
軟接地 soft grounding
使物體(ti) 通過一個(ge) 足夠高的阻抗接往大地，以便發生觸電事故時把電流限製在人身安全電流之下。
3.2 縮略語
3.2.1 EPA——防靜電工作區。
3.2.2 ESD——靜電放電。
3.2.3 EBP——接地連接點/公共接地點。
4 人員安全
本文件不能取代或代替任何其他關(guan) 於(yu) 人員安全的規定。應采取減少電氣危害的措施， 並遵循設備的正確接地說明。
5 接地係統要求
5.1 概述
EPA 內(nei) 操作靜電敏感器件/組部件的場所中所有設施設備、人員都應該實現接地。接地連接到公共接地點上。該公共接地點應根據使用場所的條件和技術要求，從(cong) 下列選項中選擇合適的接地方式。
5.2 防靜電接地極接地係統
防靜電接地極接地係統一般由接地極分係統、連接線（幹線、支線）、接地點、接地導體(ti) 等組成，具體(ti) 見圖 1。
接地極分係統
公共接地點 孤立導體(ti)
手腕帶 防靜電台麵
圖 1 防靜電接地極接地係統的聯接
采用防靜電接地極接地係統時，應選取係統中的公共接地點與(yu) 保護地的等電位體(ti) 進行聯接，連接點之間的電阻應小於(yu) 25Ω。以保證係統與(yu) 保護地連接的設備與(yu) 工具等之間處於(yu) 等電位狀態。
5.3 安全保護地接地係統
5.3.1 在 EPA 內(nei) ，當存在 TN-S 或 TN-C-S 供電係統時，具有的安全保護地可作為(wei) 防靜電接地極進行接地係統連接。
注： TN 係統：電力係統有一點直接接地，電氣裝置的外露可導電部分通過保護線與(yu) 該接地點相連接。根據中性導體(ti) (N)和保護導體(ti) (PE)的配置方式，TN 係統可分為(wei) 如下三類：
1、TN-C 係統，整個(ge) 係統的 N、PE 線是合一的。
2、TN-C-S 係統，係統中有一部分線路的 N、PE 線是合一的。
3、TN-S 係統，整個(ge) 係統的 N、PE 線是分開的。
（GB 50052 -2009 供配電係統設計規範）
5.3.2 當使用該接地係統時，EPA 內(nei) 的交流設備、工具以及保護地和所有防靜電設施設備共處於(yu) 相同的電位。見圖 2。
安全保護地
防靜電地板 公共接地點 孤立導體(ti)
手腕帶 防靜電台麵
圖 2 安全保護地接地係統的聯接
5.4 等電位聯接
在現場服務、操作和處理某些 ESD 敏感元件情況時，可能無法接到大地時，可采用等電位聯接，將所有的防靜電設施設備、操作人員和使用中的電氣設備進行聯接，使全部物品之間的電位均衡。見圖 3。
公共連接點 貨架
手腕帶 防靜電台麵
圖 3 等電位聯接
6 技術要求
6.1 接地極分係統
6.1.1 防靜電接地極接地係統設施應具有接地極分係統，以便對靜電荷進行泄放時提供一個(ge) 到大地的低阻抗通路，確保 EPA 內(nei) 不發生靜電放電。
6.1.2 在接地極分係統設計施工之前，應對現場的土壤電阻率進行勘測和測量並記錄。自然特性如岩層、地下水以及人造地貌的特性對電阻率的影響，這些數據應作為(wei) 接地極分係統設計施工資料的一部分。
6.1.3 接地極分係統對大地直流電阻應不大於(yu) 4 Ω。對於(yu) 土壤電阻率大，達不到 4 Ω以下（包括 4Ω)時，可以考慮下列辦法（但不限於(yu) 此），以減小大地電阻：
6.1.4 基本的接地極分係統由多根打入地下的接地極組成，接地極沿設施構築物的四周距滴水溝外側(ce) 600 mm～1800 mm 的地方均勻分布，在距地麵至少 600 mm 深的地方，接地極間用 40 mm×4 mm 鍍鋅扁鋼或 30mm ×3mm 紫銅排相互連接起來（采用焊接見圖 4）形成一個(ge) 完整的接地網。連接點采用焊接。
6.1.5 接地極可采用浸銅鋼管，其長度不少於(yu) 2500 mm，接地極之間的距離應不大於(yu) 接地極長度的兩(liang) 倍（如安裝條件困難，可以用較短的接地極），電極的直徑應不小於(yu) 20 mm,鍍銅層厚度不小於(yu) 0.3 mm,或采用鍍鋅鋼管（直徑為(wei) 50 mm、長度為(wei) 2500 mm)或采用鍍鋅角鋼(50 mm×50 mm×5 mm、長度為(wei) 2500 mm)作為(wei) 接地極。
6.1.6 接地極應與(yu) 防雷接地極裝置保持 20 m 以上距離。
6.1.7 如果為(wei) 滿足接地電阻要求，需要埋得更深的接地極，應使用符合相同技術要求的、加長的接地極，對拚接的電極在接頭處應焊接牢靠。
6.1.8 防靜電接地主幹線應焊接到接地極分係統上，截麵積不小於(yu) 95 mm2。
6.2 公共連接點聯接
6.2.1 在防靜電接地極接地係統中，公共連接點引出線與(yu) 電源配電箱內(nei) 的接地等電位連接，實現兩(liang) 個(ge) 接地係統間的電壓差的平衡。其截麵積不小於(yu) 4 mm2或寬度不小於(yu) 14 mm的銅編織帶。具體(ti) 見圖 5。
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防靜電接地
圖 5 公共連接點聯接
6.2.2 公共連接點引出的連接接地極分係統的接地主幹線，其截麵積不應小於(yu) 95 mm2。
6.2.3 公共連接點引出的連接各公共接地點的接地支線，應使用絕緣屏蔽電纜，其截麵積不小於(yu) 2.5 mm2。
6.2.4防靜電接地係統各個(ge) 連接部位之間應確保可靠連接。
6.3 公共接地點要求
6.3.1 EPA 內(nei) 宜設置一個(ge) 或多個(ge) 公共接地點，以適應就近接地需求。
6.3.2 每個(ge) 公共接地點可以連接多個(ge) 防靜電設施設備。
6.3.3 公共接地點可以是接線條、匯流排或其它方便使用的接線方式。
6.3.4 任意公共接地點間電阻值小於(yu) 1Ω。
6.3.5 EPA內(nei) 的接地連接點/公共接地點標識符號式樣如圖6所示，其尺寸的大小應能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認。標記顏色應采用黃底黑色。接地連接點/公共接地點應用此符號標記。
接地連接點/公共接地點符號式
6.4 工作台等電位聯接
6.4.1 EPA操作靜電敏感器件的工位，可根據需要設置防靜電工作台等電位體(ti) ，見圖7。
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手腕帶
工作台麵
接地連接點
地墊
圖 7 防靜電工作台等電位體(ti) 示意圖
6.4.2 防靜電工作台等電位體(ti) ，連接該工位的防靜電設施設備，包括並不限於(yu) ：手腕帶、工作台麵、台墊、接地工作服等。
6.4.3 防靜電設施設備的接地可以是軟接地，也可以直接接地。涉及人身安全的防靜電接地必須采取軟接地。
注：使用的手腕帶和其他導線可能有附加電阻，典型值是1MΩ,作用為(wei) 限止入地電流，這一點特別重要，因為(wei) 該連接導線位於(yu) 人體(ti) 與(yu) 地之間。
6.4.4 每個(ge) 防靜電設施設備的接地應獨立與(yu) 公共連接點連接，不得串聯。
6.4.5 當接地對象為(wei) 非金屬材料時，應在接地對象上裝設緊密結合的可靠金屬導體(ti) ，並應在金屬導體(ti) 上引出接地導體(ti) 。金屬導體(ti) 的緊密結合麵積不小於(yu) 100mm2。
6.5 連接線
6.5.1 公共接地點到防靜電工作站等電位體(ti) 的連接線的截麵積不小於(yu) 2.5mm2。
6.5.2 連接線的連接應采用釺焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等。
7 驗證
7.1 測試儀(yi) 器
測試接地電阻使用直流電阻計，電阻計的量程滿足測量要求，準確度應在±10%以內(nei) 。
7.2 測量
7.2.1 和防靜電設施設備接地相連接的公共接地點與(yu) 安全保護地之間的連接電阻測試。用歐姆表測量選取的和防靜電設施設備接地相連接公共接地點與(yu) 安全保護地之間電阻，包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應大於(yu) 25Ω。
7.2.2 公共接地點與(yu) 安全保護地之間的連接電阻測試。用歐姆表測量公共接地點和安全保護地之間電阻，包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應大於(yu) 1Ω。
7.2.3 接地極分係統大地電阻應采用電位降法在幹燥土壤表麵上、設施竣工之前進行測量。幹燥的表麵是指在三天之內(nei) 未下過雨的土壤表麵。建議至少第一年每三個(ge) 月和以後為(wei) 每 12 個(ge) 月進行一次這樣的測量並記錄，以觀察接地極分係統的穩定性。
7.2.4 防靜電接地極接地係統中，電源配電箱內(nei) 連接安全地的等電位體(ti) 和防靜電接地極公共接地點的電阻測試，測試頻次建議至少每年進行一次，測量並記錄。
7.2.5 工作台等電位體(ti) 與(yu) 安全地接地連接電阻測試。用歐姆表測量工作台等電位體(ti) 接地點與(yu) 安全保護地之間電阻，包括所有互連線和固定裝置的電阻。總電阻不應大於(yu) 25Ω。
7.2.6 防靜電接地係統各個(ge) 連接部位之間的搭接電阻測試，用歐姆表測量公共連接點和接線端之間電阻。電阻不應大於(yu) 0.1Ω。
8 接地安全檢查
EPA 使用前及按規定的檢查周期內(nei) ，對 EPA 係統的接地連接線、公共接地點、工作台等電位聯接及防靜電接地與(yu) 安全地間的連接狀況進行嚴(yan) 格檢查，確保技術狀態良好。
1) 檢查防靜電接地狀態；
2) 目測檢查安全接地、儀(yi) 器設備保護地線是否連接可靠；
3) 檢查防靜電設施設備、工具是否按要求接地；
4) 監督防靜電接地檢查並記錄。