電子工業防靜電係統通用要求

ICS      31.31-070

 

T/CEIA

 

團           體(ti)                       準

T/CEIA-1002—2020

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

電子工業(ye) 防靜電係統通用要求

 

General Requirements for Antistatic Systems in Electronic Industry

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2 0 2 0 – 0 9 – 0 1 發 布

 

 

 

 

中國電子儀(yi) 器行業(ye) 協會(hui) 防靜電裝備分會(hui)    發布

 

T/CEIA-1002—2020

 

 

 

    

 

 

前言 III

引言  V

1   範圍 1

2  規範性引用文件 1

3  術語和定義(yi) 、縮略語  1

3.1   術語和定義(yi) 1

3.2   縮略語 3

4  管理要求 4

4.1   人員安全 4

4.2   組織 4

4.3   管理項目 4

5  檢驗與(yu) 驗證 6

5.1   產(chan) 品認可檢驗 6

5.2   符合性驗證  6

6  技術要求 6

6.1   EPA構建基本原則  6

6.2   接地/等電位連接係統  7

6.3   防靜電工作區(EPA)  10

6.4   包裝  13

6.5    標識 13

附錄A   (規範性附錄) ESD 防護項目的輔助評測 15

A.1  概述  15

A.2  自動化處置設備   15

A.3  手持工具  15

A.4  連續監測器   15

附錄B   (規範性附錄)電子產(chan) 品靜電敏感度測試 16

B.1   概述  16

B.2  人體(ti) 放電模型(HBM)  16

B.3   帶電器件模型(CDM)  16

B.4  人體(ti) —金屬模型(BMM)  16

 

圖1 接地連接圖 7

圖 2 共用接地極(點)標識 8

 

 

 

T/CEIA -1002—2020

圖 3 防靜電工作區(EPA> 標 識 11

圖 4 ESD包裝標識 13

圖 5 靜電敏感電子產(chan) 品標識  14

 

表 1  接地/等電位連接要求

表 2  人員接地要求 9

表 3    氣潔淨度等級 CGB50073)    10

表 4  防靜電工作區(EPA)防靜電裝備(用品)技術要求一覽表  12

表B.1 電子元器件、設備靜電放電敏感度測試標準  17

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前     言

 

 

本標準針對電子工業(ye) 使用的靜電敏感電子產(chan) 品的生產(chan) 、測試、使用、存儲(chu) 、運輸、維護等環節所建 立的防靜電係統,提出了詳細的要求,包括防靜電管理和技術兩(liang) 方麵,可作為(wei) 電子工業(ye) 防靜電體(ti) 係構建 與(yu) 管理指南。

本標準參照了國內(nei) 外相關(guan) 防靜電體(ti) 係的構建、管理、測試方法等相關(guan) 標準,並結合國內(nei) 電子工業(ye) 現 狀編寫(xie) 而成。

請注意本標準的某些內(nei) 容可能涉及專(zhuan) 利。本標準的發布機構不承擔識別這些專(zhuan) 利的責任。

《電子工業(ye) 防靜電係統通用要求》是根據靜電行業(ye) 發展需要,以及靜電企業(ye) 和生產(chan) 單位的實際需求, 由中國電子儀(yi) 器行業(ye) 協會(hui) 防靜電裝備分會(hui) 提出並組織編製的團體(ti) 標準。

本標準主要起草單位:蘇州天華超淨科技股份有限公司、深圳市亨達洋靜電技術有限公司、上海碩 榮電子科技有限公司、浙江三威防靜電裝備有限公司、华体育hth、華東(dong) 理工大學華 昌聚合物有限公司、北京東(dong) 方計量測試研究所、東(dong) 莞市科園防靜電設備有限公司、東(dong) 莞市寧楚智能科技 有限公司、東(dong) 莞市中芯防靜電科技有限公司。

本標準主要起草人:王榮剛、鄧飛、孫思宇、劉清鬆、莊載榮、莊佐華、朱雪梅、王曉東(dong) 、高誌良、 王春元、談平、徐群。

本標準主要審查人:孫延林、裴振華、孫可平、歐陽吉庭、王大千。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

本標準涵蓋了電子工業(ye) 防靜電基本要求,其源於(yu) 有關(guan) 標準、經驗與(yu) 試驗結果。防靜電原理作為(wei) 本標 準的技術基礎,簡述如下:

——為(wei) 防止帶靜電物體(ti) (人員、物品、測試生產(chan) 設備等)對靜電敏感電子產(chan) 品產(chan) 生靜電感應和發生 放電,可將生產(chan) 場所中包括人員在內(nei) 的所有導體(ti) (測試儀(yi) 器、生產(chan) 設備等等)、靜電耗散體(ti) (工 作表麵、地坪等等)電氣連接至接地係統來實現。此連接建立了所有導體(ti) 、靜電耗散體(ti) 、人員 等之間的等電位,隻要防靜電工作區中所有導靜電物體(ti) 的電勢相同,電勢差就可維持在一個(ge) 近 似“零”伏電位的水平,從(cong) 而消除相互之間靜電放電的發生;

—生產(chan) 場所中所用的帶靜電絕緣材料、製品(如電路板材料、絕緣包裝等)和孤立導體(ti) 不能或不 便通過接地來泄放靜電,空氣電離方法可通過釋放正、負空氣離子來消除這些絕緣材料、製品、 孤立導體(ti) 上的靜電荷;

——在防靜電工作區之外,上述措施無法實現或不便於(yu) 實現,防靜電包裝的使用就成了必不可少防 靜電措施。防靜電可通過將靜電敏感電子產(chan) 品封閉在防靜電包裝中實現。所選包裝類型取決(jue) 於(yu)  使用場所、使用目的。在防靜電工作區內(nei) ,靜電耗散包裝能提供足夠的保護。在防靜電工作區 外,建議使用靜電放電屏蔽包裝或其它隔離方法。雖然本標準中沒有討論這些包裝材料與(yu) 隔離 方法,但了解在應用上的差異很有必要;

——生產(chan) 場所中靜電源產(chan) 生的靜電場可對靜電敏感電子產(chan) 品產(chan) 生損害,采取主動屏蔽、被動屏蔽措 施能夠避免這種損害;

——工作環境的濕度要求對遏製靜電的產(chan) 生具有重要意義(yi) 。本標準雖不探討但提出了防靜電工作區 的濕度範圍。

 

 

 

 

 

T/CEIA-1002—2020

 

 

 

電子工業(ye) 防靜電係統通用要求

 

 

1  範圍

 

本標準涵蓋電子工業(ye) 設計、製造、測試、使用、存儲(chu) 、運輸、維護等過程中的防靜電技術與(yu) 管理方 麵的基本要求,為(wei) 各電子企業(ye) 、科研院所、實驗室等構建防靜電工作區、采用防靜電技術、建立防靜電 質量管理體(ti) 係等提供指導依據。

本標準適用於(yu) 靜電敏感電壓大於(yu) 等於(yu) 人體(ti) 放電模型100V、大於(yu) 等於(yu) 帶電器件模型200V的電子元器 件、電氣產(chan) 品的生產(chan) 、測試、包裝、存儲(chu) 等,包括防靜電工作區內(nei) 孤立導體(ti) 靜電電壓大於(yu) 等於(yu) 35V的技 術要求。對於(yu) 靜電敏感度電壓值小於(yu) 上述要求的靜電敏感電子產(chan) 品,本標準的技術、管理要求仍然適用, 但是需要根據產(chan) 品防護要求進行適當的增補或刪減。

本標準不適合作為(wei) 易燃易爆氣體(ti) 、粉體(ti) 、液體(ti) 和化工品、火工品等作業(ye) 場所的技術、管理規範,如 電子工業(ye) 生產(chan) 涉及到此類場所,還應參照和符合相關(guan) 標準、法律法規要求。

2  規範性引用文件

 

凡是標注日期的引用文件,僅(jin) 所標注日期的版本適用於(yu) 本標準。凡是不標注日期的引用文件,其最 新版本(包括所有的修改單)適用於(yu) 本標準。

GB/T 15463 靜電安全術語

GB 18871  電離輻射防護與(yu) 輻射源安全基本標準

GB/T 19000 質量管理體(ti) 係 基礎和術語

GB/T 33555 潔淨室及相關(guan) 受控環境靜電控製技術指南

GB 50073 潔淨廠房設計規範

GJB 86 防靜電包裝手冊(ce)

SJ/T10694 電子產(chan) 品製造與(yu) 應用係統防靜電檢測方法

SJ/T 11446 離子化靜電消除器通用規範

SJ/T   11587  電子產(chan) 品防靜電包裝技術要求

IEC61340-2-2   靜電學第2- 2部分:測試方法——起電量測試 (Electrostatics–part                2-2:

Measurement     methods-Measurement      of     chargeability)

IEC61340-5-1  靜電學第5-1部分:電子器件的防靜電——通用要求Electrostatics        -Part        5-1:

Protection     of     electronic     devices     from     electrostatic      phenomena     -General     requirements)

ANSI/ESD S20.20 靜電放電控製程序(英文原文)

 

3  術語和定義(yi) 、縮略語

 

3.1  術語和定義(yi)

GB/T  15463和GB/T 19000規定的術語和定義(yi) 適用於(yu) 本標準。

 

 

 

 

 

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3.1.1    靜電放電 (ESD)

兩(liang) 個(ge) 具有不同靜電電位的物體(ti) ,由於(yu) 直接接觸或者靜電場感應引起高電位物體(ti) 向低電位物體(ti) 快速轉 移靜電電荷過程。

3.1.2  防靜電/靜電防護

為(wei) 防止靜電放電所采取的各種技術、管理方法或防護措施。

3.1.3    防靜電工作區 (EPA)

配備各種防靜電裝備(用品)和設置接地係統,能限製靜電電位、具有確定邊界和專(zhuan) 門標記的場所。

3.1.4  防靜電接地

防靜電材料或防靜電製品通過導體(ti) 與(yu) 大地實現電氣連接,使其與(yu) 大地的電位相近並提供泄漏電荷的 通道。

3.1.5  防靜電接地係統

將靜電泄放到大地和實現等電位連接而配置的接地線係統,又稱ESD接地係統。

3.1.6  離子化靜電消除器

能使空氣電離產(chan) 生正、負離子,中和帶電體(ti) 上的表麵異性電荷的靜電消除裝置。

3.1.7  組織

電子工業(ye) 企業(ye) 中,負責處置靜電敏感電子產(chan) 品的專(zhuan) 業(ye) 部門或團體(ti) ,也可以是具有相應能力的外包單 位。

3.1.8  防靜電方針

由組織最高管理者正式發布的關(guan) 於(yu) 防靜電方麵全麵意圖或方向。

3.1.9  處置

在靜電敏感電子產(chan) 品的采購、製造、加工、組裝、包裝、標識、維修、測試、環境實驗、儲(chu) 存、分 發和運輸等過程中,直接或者間接作用於(yu) 產(chan) 品的活動。

超過電子產(chan) 品最高額定電流的電流。

3.1.10  靜電放電敏感度

3.1.23  人體(ti) 電壓

電子元器件能夠耐受相應放電模型的最大靜電放電電壓值或者設置的相應級別。

人體(ti) 由於(yu) 自身行動或與(yu) 其它帶電物體(ti) 相靠近或接觸,在人體(ti) 產(chan) 生並積聚靜電,形成的人體(ti) 電壓。

3.1.11  防靜電包裝

3.1.24  儀(yi) 器驗證

為(wei) 靜電敏感電子產(chan) 品提供具有防靜電功能的包裝物品或材料,如包裝袋、填充物、中轉箱、集成電 路包裝管等。

3.1.12  公共接地點

為(wei) 達到等電位而設置的共用接地連接點。

3.1.13  設備保護接地

 

 

 

 

 

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EP           防靜電工作區(Electrostatic   protection   area)

EOS——電過應力(Electrical over-stress)

ESI          靜電放電 (Electrostatic   Discharge)

ESDS——靜電放電敏感的 (Electrostatic  discharge  sensitive)

HBM——人體(ti) 放電模型 (Human    body     model)

 

4  管理要求

 

4.1  人員安全

由於(yu) 本標準涉及的工作環境存在人員觸電的危險,所以采用本標準的企業(ye) 應選擇符合相關(guan) 法規、國 內(nei) 外安全要求的設備。用戶應注意,本標準不能取代或代替任何其它關(guan) 於(yu) 人員安全的規定。

用戶應采取防止電氣危害的措施,采用有關(guan) 設備正確接地的標準、規範。凡涉及人員的安全規定與(yu)  要求,用戶應確保符合相關(guan) 法規規定並認真執行。

 

 

4.2.1  每個(ge) 企業(ye) 應設置專(zhuan) 門的組織來負責防靜電事項。組織應由 ESD 專(zhuan) 職人員、生產(chan) 、工程、品質、 采購、維修、人力資源、基建、研發、工藝、文檔部門等人員組成。

4.2.2  組織負責提出防靜電管理目標,根據本標準和管理目標要求建立防靜電質量管理體(ti) 係,並明確 每個(ge) 部門的職責範圍,同時也負責防靜電質量管理體(ti) 係日常監督和運維管理。

4.2.3  組織內(nei) 至少有2名經過國家相關(guan) 專(zhuan) 業(ye) 培訓機構培訓並獲得執業(ye) 資格的ESD 工程師。

4.2.4  組織定期負責對企業(ye) 的防靜電管理體(ti) 係進行周期性修訂、更新或擴展。

4.2.5  企業(ye) 最高管理者是組織的最高行政領導,職責如下:

4.3.4  防靜電管理體(ti) 係

  1. a)  任命防靜電專員並授予其相應的職責;
  2. b)  確保防靜電方針和目標的實現;
  3. c)     提供與防靜電工作有關的各類資源;
  4. d)    批準防靜電質量管理體係、管理文件、技術、質量等方案及改進措施的實施。

4.2.6 防靜電專(zhuan) 員應是參加防靜電質量管理體(ti) 係決(jue) 策的最高管理層成員,並被授予以下職責:

  1. a)     指導防靜電質量管理體係建立、實施、維護;
  2. b)    定期向最高管理者報告防靜電質量體係的執行情況和改進的需求;
  3. c)     配合人力資源部門采取各種方式提高有關人員防靜電意識和職業技能。

4.3  管理項目

4.3.1  防靜電管理目標

4.3.1.1  組織內(nei) 各職能部門分層次製定防靜電管理目標。防靜電目標應具體(ti) 並可量化、考核。

4.3.1.2  防靜電管理目標應與(yu) 企業(ye) 管理相適應,並能滿足用戶的質量要求。

 

 

 

 

 

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4.3.5  監督與(yu) 審查

4.3.5.1  組織負責或請第三方機構定期監督防靜電質量體(ti) 係的執行情況,同時提出核查和改進意見並 存檔。

4.3.5.2  防靜電專(zhuan) 員負責組織編製周期監督審查報告,並定期向企業(ye) 最高管理者匯報,以改進和完善 防靜電質量管理體(ti) 係。

4.3.5.3  宜結合組織內(nei) 部的實際情況開展相適應的評價(jia) 活動,不限於(yu) 第三方機構定期監督的方式要求。

 

5  檢驗與(yu) 驗證

 

5.1  產(chan) 品認可檢驗

5.1.1  所有防靜電裝備(用品)應符合本標準表1、表2、表3、表4提出防靜電裝備(用品)的測試 方法和要求。

5.1.2  能夠認可的檢測報告依據如下:

  1. a)防靜電裝備(用品)製造商提供的產品規格書;
  2. b)有資質的第三方實驗室或機構的測試報告或產品認證報告;
  3. c)企業組織內部評測報告;
  4. d)    對於未在表1、表2和表4列出的防靜電項目(器材),在使用前組織應認可其評價方法、評測結果並記錄在案和存檔。

5.2  符合性驗證

5.2.1  符合性驗證用來複核產(chan) 品認可檢驗結果。

5.2.2  在符合性驗證方案中應確定技術要求、測量限值和檢驗頻次。

5.2.3  符合性驗證應規定測試方法、測試儀(yi) 器性能,尤其關(guan) 注特殊工藝環境對防靜電裝備(用品)防 靜電參數的影響。

5.2.4  如果組織使用與(yu) 符合性驗證方案規定的不同測試方法,則必須在防靜電技術方案中做修正聲明, 並且評估通過其測試方法。對應的記錄要存檔。

5.2.5  對於(yu) 符合性驗證中采用在線監測儀(yi) 器或係統、智能化驗證時,組織與(yu) 客戶需認可監測的參數和 技術方法。

5.2.6  在整個(ge) 使用階段組織應對檢驗儀(yi) 器設備進行全過程的性能質量評價(jia) ,以確保儀(yi) 器穩定可靠。

 

6  技術要求

 

6.1  EPA 構建基本原則

6.1.1      所有ESD 控製項目需要可靠接地,應將 ESD 控製項目連接實現等電位,以減少或消除 ESD現象。

6.1.2  對於(yu) 高壓設備產(chan) 生的強電場,對靜電敏感電子產(chan) 品產(chan) 生不良影響時,應采用主動屏蔽或被動屏 蔽措施,或采取避開措施以免造成感應帶電。

 

 

 

 

 

 

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  1. b)     利用功能性接地:

ESD接地不便利用設備安全保護接地時,可選用功能性接地。如允許設備安全保護接地與(yu) 功能接地 連接,建議將功能接地係統接地端與(yu) 設備安全保護接地係統接地端采用共用接地極(點)方式。

  1. c)利用等電位連接:

若無設備安全保護接地、功能性接地係統時,應將操作現場所有ESD裝備、用品接地線與(yu) 現場其它 可接地的金屬導體(ti) 連接到共用接地極(點),其可以是接線端(排),也可以是一個(ge) 大的金屬體(ti) ,如金 屬隔斷、金屬管道等。共用接地極(點)標識見圖2。

 

 

圖2  共用接地極(點)標識

表1  接地/等電位連接要求

 

技術要求 接地類型及連接方法 連接限值要求 測試方法
 

 

接地/等電位連接係統

保護接地 交流阻抗<1.0Ω SJ/T10694
功能接地 <25Ω SJ/T10694
等電位連接 <1.0×10° SJ/T10694

6.2.3  人員接地

操作靜電敏感電子產(chan) 品的人員,都要采取人員接地措施。人員接地有兩(liang) 個(ge) 方法:一是使用腕帶係統, 二是使用地板/鞋係統。

對坐姿崗位的人員,必須使用腕帶係統。對於(yu) 站姿或流動操作人員,為(wei) 保障操作人員人體(ti) 電位盡可 能與(yu) 大地等電位,應優(you) 先選擇腕帶接地係統,在人員移動過程中可以暫時脫離腕帶接地,使用地板/鞋 係統接地。

T/CEIA-1002—2020

 

表2  人員接地要求

 

 

技術要求

 

ESD防護物品

產(chan) 品認可 符合性驗證
技術要求 測試方法 技術要求 測試方法
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

人員接地

 

腕帶線電阻

0.8×10⁶<R

<1.2×10⁶ Ω

 

SJ/T10694

0.8×10⁶<R

<1.2×10⁶Q

 

SJ/T 10694

 

腕帶表麵對接

地扣電阻

SJ/T10694
R≤1×10⁵ Ω 一內(nei) 表麵 不適用
R>1×10’2 一外表麵 不適用
 

人體(ti) 腕帶係統

0.75×10⁵<R  <3.5×10’Ω  

SJ/T10694

0.75×10⁶<R <3.5×100  

SJ/T 10694

鞋類 R.≤1×10Ω SJ/T10694 不適用
 

人員/鞋/地板

係統

R₈ ≤1.0×10⁹Ω和 人體(ti) 電壓的絕對值

<100V(5個(ge) 最高峰值

的平均值)

SJ/T10694  ESD STM97.2 IEC61340-4-5  

 

R₈ ≤1.0×10°2

 

 

SJ/T 10694

人員/鞋係統 不適用 R<3.5×10Ω SJ/T 10694
(1)ESD服裝作為(wei) 腕帶接地路徑組成的情況下,總係統電阻應小於(yu) 3.5×10⁷2。總係統電阻包括人員、服裝和接地電 阻 ;

(2)本表中使用的符號: R對地電阻, R對接地點的電阻;

(3)采用IEC 61340-4-3標準,對於(yu) 鞋類的產(chan) 品認可測試環境條件濕度宜為(wei) (12±3)%RH,溫度宜23℃±2℃;

(4)定期進行人體(ti) 電壓測試,峰值電壓絕對值應小於(yu) 100V;

(5)人/鞋係統:對每隻腳逐個(ge) 測試,每隻腳電阻R₀<3.5×10Q;

(6)人/鞋/地板係統:符合性驗證時,電阻限值R₈<1.0×10°Ω;產(chan) 品認可檢驗時,人體(ti) 峰值電壓平均值的絕對值< 100V。

(7)當對人員/鞋/地板係統進行測試時,可以根據實際情況選擇測試方法中的任意一種實施,滿足相應判定條件。

6.2.4    EPA 內(nei) 防靜電接地要求

6.2.4.1  地線連接可采用焊接、壓接、螺栓等方式連接,要避免纏繞並滿足一定機械強度要求和采取 防鏽防腐措施。

6.2.4.2  靜電耗散材料與(yu) 接地線導線連接采取麵接觸方式(例如:與(yu) 接地導線焊接一起的銅箔與(yu) 桌墊 接觸麵積宜大於(yu) 10cm²)。

6.2.4.3  防靜電裝備(工作台、貨架等)與(yu) 接地匯流線、接地極之間連接線盡可能短,如有必要可采 取防撞擊、碾壓措施。

 

 

 

 

 

T/CEIA-1002—2020

6.3.2    EPA 管控規則

6.3.2.1  一個(ge) 防靜電工作區 (EPA) 可以是一個(ge) 工作台、單個(ge) 操作間、整棟生產(chan) 車間等,應有明確的界 限標識。防靜電工作區(EPA) 的警告標誌應張貼在工作人員進入區域的入口之處,並且能清晰可見(見 圖 3 ) 。

6.3.2.2       應在防靜電工作區 (EPA)  內(nei) 處置靜電敏感電子產(chan) 品,包括元器件,半成品,成品等。隻有完 成了防靜電培訓的人員,才能進入防靜電工作區 (EPA) 。 未受過培訓的人員進入 EPA, 應有受過培訓的 人員陪同。

6.3.2.3       為(wei) 了減少因CDM 模式造成靜電敏感電子產(chan) 品損壞,對各工序中所接觸的絕緣體(ti) (絕緣材料)、 孤立導體(ti) 產(chan) 生靜電的處理方案如下:

——絕緣體(ti) 、孤立導體(ti) 表麵靜電電壓絕對值達到或超過2000V,  則該絕緣體(ti) 、孤立導體(ti) 表麵與(yu) 靜電 敏感電子產(chan) 品保持至少30cm 以上距離;

——絕緣體(ti) 、孤立導體(ti) 表麵的靜電電壓絕對值達到或超過125V, 則該絕緣體(ti) 、孤立導體(ti) 表麵應與(yu) 靜 電敏感電子產(chan) 品保持至少2.5cm 以上的距離;

——孤立導體(ti) 表麵靜電電壓絕對值超過規定的35V 時,可利用離子化靜電消除技術消除其靜電或采 取隔離、靜電屏蔽等措施。

6.3.2.4  所有與(yu) 處置靜電敏感電子產(chan) 品無關(guan) 的絕緣體(ti) ,例如:塑料製品、雞毛撣子、廢品盒等不允許 放置在靜電敏感電子產(chan) 品的處置區域,至少遠離30cm 以上距離。

6.3.2.5  離子化靜電消除器使用、管理原則:

——所用離子化靜電消除器殘餘(yu) 電壓值低於(yu) 所處置靜電敏感電子產(chan) 品靜電敏感度電壓值;

離子化靜電消除器使用現場,應避免幹擾氣流存在,所用壓縮氣源潔淨度符合要求; ——正確選擇各類離子化靜電消除器,以滿足各類工序消除靜電的要求;

……離子化靜電消除器使用時產(chan) 生的汙染(由放電針本身產(chan) 生的濺射微粒子等原因造成),對靜電

敏感電子產(chan) 品、生產(chan) 環境潔淨度不能造成不良影響,如有影響則需要采取必要的防護措施;

—  對於(yu) 環境潔淨度要求很高 (GB50073規定的1—4級)的智能化自動生產(chan) 線,可使用X射線離子 化靜電消除器,但現場應采取電離輻射防護措施和符合標準GB18871有關(guan) 電離輻射安全標準要 求;

——定期對離子化靜電消除器保養(yang) 、維護、檢驗,其臭氧、噪音、安全性等符合 SJ/T 11446 標準 要 求 。

注意

防靜電保護區

 

接觸靜電放電敏感元件時

請采取適當的預防措施

圖3  防靜電工作區 (EPA) 標識

 

表4列出了EPA內(nei) 可供選擇的防靜電項目,其技術限值及測試方法必須遵守。

 

 

 

 

 

 

T/CEIA-1002—2020

表4  防靜電工作區 (EPA) 防靜電裝備(用品)技術要求一覽表

 

技術要求 範圍 防靜電項目 產品認可 符合性驗證
技術要求 測試方法 技術要求 測試方法
 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

防靜電工

作區

(EPA)

工作台麵,儲(chu) 存架,手 推車、傳(chuan) 輸帶 R₀<1×10°0 R<1×10°Q SJ/T10694 R,<1×10°Q R<1×10°2 SJ/T 10694
手腕帶接地點 R₀<29 SJ/T10694 R₀<29 SJ/T 10694
雙回路腕帶 R:>1×10°Ω 采用絕緣電阻測 試儀(yi) 測試 R.>1×10°Ω 采用絕緣電阻測 試儀(yi) 測試
地板 Rm<1×10°2

Rr<1×10°8

SJ/T10694 R₀<1×10°2 SJ/T 10694
座椅 R₀<1×10°Q Rp<1×10° SJ/T10694 R₀<1×1092 R₀<1×10° SJ/T 10694
 

離子化靜電消除器

衰減時間由用戶自己確定 IBVI<35V

工作範圍符合企業(ye) 規範要求

 

SJ/T10694

衰減時間由用戶確定 IBVI<35V

工作範圍符合企業(ye) 規範要求

 

SJ/T 10694

防靜電工作區(EPA)

現場靜電參數在線監

測器?

用戶自定 製造商產(chan) 品手冊(ce) 用戶自定 製造商產(chan) 品手冊(ce)
 

 

 

服裝

Ro<1×10″Q

(防靜電服)

ST/T10694 R,<1×10Ω SJ/T 10694
Ro<1×10°Ω

R‰<1×10°Ω

(可接地防靜電服)

 

SJ/T10694

R₄<1×10⁹2  R<1×10°  

SJ/T 10694

R.<3.5×10’Ω

(可監測防靜電係統)

(ANSI/ESD STM2.1) R.<3.5×10a (ANSI/ESD STM2.1)
防靜電工具

(無電源類):鑷子、

刷子、改錐等。

 

R„o<1×10⁹

 

SJ/T10694

 

Rp,<1×10°

 

SJ/T 10694

防靜電工具(有電源  類):烙鐵、電批等。 R₈<2Ω; I₃<10mA;

U,<20mV;

 

SJ/T10694

R₅<2Ω;  

SJ/T 10694

防靜電手套、指套 R<1×10°  Roo<1×10″2 SJ/T10694 R,<1×10°2 SJ/T 10694
包 裝 靜電耗散

材料

1×10⁴≤R.<1×10″s2

1×10⁴≤R.<1×10″Q

1×10⁴≤R,<1×10″Ω

SJ/T10694 1×10⁴≤R

<1×10″2

SJ/T 10694
導靜電材料 R₈<1×10⁴ Ω  R.<1×10⁴ Ω

Ru<1×10Ω

SJ/T10694 Ro,<1×10°2 SJ/T 10694
靜電放電屏蔽型 <20nJ SJ/T10694
低起靜電材料 <0.1μc/m² IEC61340-2-2
a對於(yu) 產(chan) 品認可,測試環境條件:濕度為(wei) (12±3)%RH,(50±5)%RH;溫度23℃±2℃。沒規定時,環境預處理時間最短為(wei) 48h; b符合性驗證列出的測試方法僅(jin) 適於(yu) 基本的測試要求;

c本表中使用的符號:R點對點電阻;R.對地電阻;R„對接地點的電阻;R與(yu) 人體(ti) 接觸的係統電阻;R,表麵電阻;R.體(ti) 積電阻;Ru 是指雙線間絕緣電阻;I泄漏電流;U泄漏電壓;

d ESD地板測量,推薦使用最大測試電壓為(wei) 100V;

e操作靜電敏感電子產(chan) 品的人員通過地板接地,接地要求參照表2要求執行;

f預防CDM模式所致ESDS產(chan) 品損壞,接觸靜電敏感電子產(chan) 品的材料、物品最低電阻限值1×10³Ω;

8工作表麵是指放置未受保護的靜電敏感電子產(chan) 品的表麵; BV表示離子化靜電消除器殘餘(yu) 電壓。

 

T/CEIA-1002—2020

6.3.2.6 應避免將靜電敏感電子產(chan) 品直接裸放在傳(chuan) 輸線、存放架、運轉車等物體(ti) 金屬表麵上,可采取 將靜電耗散材料(橡膠墊等)放置在靜電敏感電子產(chan) 品與(yu) 金屬表麵之間的隔離措施。

6.3.2.7      EPA內(nei) 所用防靜電裝備、產(chan) 品等的防靜電性能應與(yu) 其使用壽命相符。如無法滿足要求,采取臨(lin)  時抗靜電劑處理措施時,則應明確標識防靜電性能期限,並定期進行防靜電處理及監測。所用抗靜電劑 應無腐蝕性,符合環保和潔淨度(如果有)要求。

6.4  包裝

ESD防護包裝應符合客戶合同、采購訂單、圖紙及其它文件的要求。對合同、采購訂單、圖紙或其 它文件沒有定義(yi) 的ESD防護包裝,組織應根據防護要求,在防靜電方案中提出ESD防護包裝要求。技術要 求可參考表4,推薦使用圖4所示包裝標識。

防靜電包裝設計與(yu) 選用指南如下:

  1. a)     了解靜電敏感電子產品的靜電敏感度和處置要求,正確選擇各類ESD防護包裝;
  2. b)  ESD防護包裝的防靜電性能、有效期、阻燃、腐蝕性、環保要求、表麵潔淨度(對應使用的環境潔淨度等級)、機械物理等指標應符合設計和使用要求;
  3. c)     在EPA內推薦使用靜電耗散型材料製備的包裝、盒、箱及其它結構的包裝;在EPA外推薦使用靜電放電屏蔽包裝及其它等效結構的包裝;
  4. d)    在EPA外沒有采取防靜電措施時,嚴禁將ESD防護包裝打開並處置靜電敏感電子產品;
  5. e)  嚴禁將放置有靜電敏感電子產品的靜電耗散類、低起電類包裝與絕緣材料製作的襯材、泡沫塑料、發泡粒等混放、疊放在一起;
  6. f)     裝入ESD 防護包裝的ESDS 元器件,如某些分立器件,如果采用了等電位連接措施(短路條、 導靜電泡沫墊等)。當它們從包裝取出後,沒有裝配之前,不應去除等電位連接措施;

g)ESD    防護包裝生產(chan) 製造商應將6.4條所列條款根據用戶要求與(yu) 選擇編製使用指南。

 

 

 

主要功能代碼:

S—- 靜電放電屏蔽; C——導靜電;

D-—   靜電耗散。

 

圖4 ESD 包裝標識

6.5  標識

應按照客戶和靜電敏感電子產(chan) 品生產(chan) 企業(ye) 的要求,參照圖5給靜電敏感電子產(chan) 品打印標識。靜電敏 感電子產(chan) 品和ESD包裝上的標識是告知用戶識別靜電敏感電子產(chan) 品及其靜電敏感電壓,這類標識的使用 與(yu) 管理應被納入防靜電方案中。

通常每個(ge) 靜電敏感電子產(chan) 品包裝(如包覆、小袋或快速包裝袋等)或多層包裝最外層側(ce) 麵應有清晰 的標識。

裝有靜電敏感電子產(chan) 品包裝、周轉容器、貯存容器等應使用圖5所示ESD標識,往往也擴展到裝有靜 電敏感電子產(chan) 品貯存櫃或箱櫃、貨架等。

 

 

 

 

 

 

 

T/CEIA-1002—2020

在防靜電方案中應說明包裝的標識要求,在一些契約性協議中也應規定。

 

 

圖5  靜電敏感電子產(chan) 品標識

T/CEIA-1002—2020

 

 

 

附  錄  A

(規範性附錄)

ESD 防護項目的輔助評測

 

A.1  概述

 

一 些ESD防護項目,有關(guan) 標準中沒有製定所需要的限值與(yu) 控製要求,因此需要製定有關(guan) 規範及要求。 本附錄提供了某些ESD防護項目輔助評測要求。

A.2  自動化處置設備

 

為(wei) 了防止自動化處置設備產(chan) 生靜電並造成不良影響,需測量機器部件的對地電阻,並監控和檢測產(chan)  品通過機器時因摩擦分離等原因產(chan) 生的靜電電壓。此時需提出持續監測及確定靜電源的方法與(yu) 要求,其 包括機械部件對地電阻和設備靜電源的對地電位測量。

 

A.3  手持工具

 

SJ/T10694 標準提供了電氣焊接/非焊接手持工具泄漏電壓、電流和尖端對地電阻的測試方法。對其 或有關(guan) 標準沒有涉及的電池供電、氣動和其它動力源的手持工具靜電評估方法,也需要提出並列入ESD 防護項目中。

 

A.4  連續監測器

 

使用連續監測器可以杜絕員工的不規範操作。良好接地的腕帶可使人體(ti) 電壓保持在20V以內(nei) 。若腕 帶佩戴接地不良時會(hui) 立即通過連續監測器察覺。無連續監測器時,操作者不會(hui) 很快知道腕帶的故障。連 續監測器的使用有助減少或消除ESD損壞並降低點檢人員工作強度。

 

 

 

 

 

 

T/CEIA-1002—2020

 

 

 

附  錄  B

(規範性附錄)

電子產(chan) 品靜電敏感度測試

 

B.1    概述

 

靜電放電失效是與(yu) 靜電放電有關(guan) 的、一係列複雜的相互關(guan) 聯過程造成的,影響靜電放電敏感度的因  素中,自身本身的結構特點是主因,但它也受到包括靜電放電電流、電壓、靜電放電波形脈寬、靜電敏  感電子產(chan) 品抗浪湧設計、製造工藝等等外因的顯著影響。靜電敏感器件的放電損壞大都與(yu) 過電流(能量)、 過電壓密切相關(guan) 。電子器件的靜電放電敏感度測試,無論是采用人體(ti) 放電模型 (HBM) 、帶電器件模型   (CDM) 等,都僅(jin) 提供一個(ge) 靜電放電敏感度參考值(一般是放電電壓值)。必須注意的是:很多情況下, 這些模擬電路及測試給出靜電放電敏感電壓閾值並不是在製造、製程或使用中實際造成損壞的電壓閾  值,隻是提出大家共同遵守的要求。表B.1列出的標準、方法為(wei) 電子產(chan) 品的靜電放電敏感度測試提供參  考。

 

B.2   人體(ti) 放電模型 (HBM)

 

人體(ti) 放電模型是模擬人體(ti) 手指直接放電到電子元器件的端子,通過數理統計,確定電子元器件損害 閾值。該模型是將不同極性電壓對100pF無感電容器充電,然後通過一個(ge) 無感開關(guan) 接通與(yu) 之串聯的一隻 1500Ω無感電阻器(用於(yu) 模擬人體(ti) 放電回路電阻)對待測元器件放電。放電脈衝(chong) 波形通常小於(yu) 10ns 的上 升時間,和大約150±20ns 的衰減時間,這個(ge) 模型近似一脈衝(chong) 電流源。受試元器件都應視為(wei) 對HBM放電敏 感,通過HBM模型放電測試方法來確定電子元器件的人體(ti) 放電模型靜電放電敏感度。

B.3  帶電器件模型 (CDM)

 

帶電器件模型是模擬對電子元器件充電(充電方式有多種),使其成為(wei) 帶電元器件,然後通過充電  的元器件引線端子對零電位金屬體(ti) 放電,通過數理統計,確定電子元器件損害閾值(靜電放電敏感度)。 由於(yu) 帶電器件模型的對地電容很小,放電波形上升時間通常小於(yu) 250ps, 放電時間通常小於(yu) 2ns, 所以易  受分布參數影響,同時對測試儀(yi) 器采樣帶寬(不小於(yu) 3GHZ) 及分布參數要求很高,這些問題處理不好, 就很難測試到電子元器件真實失效水平。

B.4    人體(ti) –金屬模型 (BMM)

 

人體(ti) –金屬放電模型電路與(yu) 人體(ti) 放電模型電路相似,隻是充電無感電容容量(150pf)   和放電回路  無感電阻阻值不同。通過對電容充電到設定的不同極性電壓後,再通過與(yu) 之串聯的一隻無感電阻(330Ω) 對待測儀(yi) 器、設備不同敏感部位(電源接口、天線、顯示屏等等)放電,通過數理統計,確定測試儀(yi) 器、 設備的抗擾度或靜電損害閾值。放電分接觸式、非接觸式和水平耦合板、垂直耦合板放電方式。人體(ti) —-  金屬放電模型用於(yu) 不同設備、儀(yi) 器測試的電路參數(電容值、電阻值、放電電極結構等)有所不同。人  體(ti) 一—金屬模型主要用於(yu) 設備、儀(yi) 器的靜電敏感度與(yu) 抗擾度測試。

T/CEIA-1002–2020

 

B.1  電子元器件、設備靜電放電敏感度測試標準

 

靜電放電模型 元器件、設備靜電放電敏感度測試標淮
人體放電模型(IBM) IEC61340-3-1
帶電器件模型(CDM) TEC61340-3-3
人體一金屬模型(BMM) IEC61000-4-2

 

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